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磁控溅射不起辉的原因

直流磁控溅射金属靶时,无法起辉,而且调节溅射电压时,电压不变,电流却急剧增大,主要原原因有:

1.靶材安装是否正确

2.靶材表面是否干净

--金属靶表面氧化或有不清洁物质,打磨清理干净后即可。

3.起辉电源是否正常

--检查靶电源

4.靶与地线之间短路

 --关掉机器,把设备的溅射靶卸下来,靶附近的零件仔细清洗一下。

 --压靶盖旋的过紧,没有和靶材之间留下适当的距离,调整距离即可。

5.永磁靶表面场强是否下降太多

  --如果下降太多(一般待靶材测量,表面场强应大于300高斯),需要更换磁钢。

6.起辉溅射真空度与上一次的差别

                --更换不同的靶材,起辉压强不尽相同。换靶材后需要重新调功率匹配器的,只有功率匹配调好了才能正常起辉



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