加入收藏您好,欢迎来到研诺信诚科技有限公司!
热门搜索: 靶材 粉末 颗粒
我的订单
研诺咨询 您的位置:首页 > 研诺咨询
靶材绑定及背靶脱落的原因分析

1. 什么是靶材绑定?

1)绑定是指用焊料将靶材与背靶焊接起来。主要有三种的方式:压接、钎焊和导电胶。

1)压接采用压条,一般会采用增加石墨纸、铅或铟皮,来提高接触的良好性。

1)压接:采用压条,一般为了提高接触的良好性,会增加石墨纸、Pb或In皮。

1)钎焊:一般使用软钎料的情况下,要求溅射功率小于20W/㎝2,钎料常用In。

1)导电胶:采用的导电胶要耐高温,厚度在0.02-0.05μm。

2.背靶如何选择?背靶的使用场合有哪些?

1)适用场合:ITO、SiO2、陶瓷灯脆性靶材及烧结靶材;锡、铟等软金属靶;靶材太薄、靶材太贵的情况等。

1)背靶选择对材质的要求:一般选用无氧铜和钼靶,厚度在3mm左右

1)导电性好:常用无氧铜,无氧铜的导热性比紫铜好;

1)强度足够:太薄,易变形,不易真空密封。

1)结构要求:空心或者实心结构;

1)厚度适中:2-3mm左右,太厚,消耗部分磁强;太薄,容易变形。

3.靶材背靶脱落的原因?

1)溅射温度高,无氧铜易被氧化和发生翘曲,靶材在高温溅射时会开裂,造成背靶脱落;

2)电流太大,导热太快造成温度过高,焊料熔化,造成焊料不均匀,脱落;

3)循环冷却水出水口的温度应低于35度,循环水温度高,造成散热不好而脱落;

4)绑定的气含量;

5)靶材本身的致密度,靶材的致密度很高时,不易吸附,无空隙,背靶易脱落。

4.防止背靶脱落的注意事项有哪些?

1)溅射温度不宜太高

2)电流要缓慢加大

3)循环水应低于35℃

4)适宜的靶材致密度


上一篇:磁控溅射不起辉的原因
更多
在线咨询
服务热线:
18501998510